Ein Jahrzehnt maskenlose Lithographie: Das MLA 150 feiert Geburtstag

Merkmale: Heidelberg Instruments feiert das 10-jährige Jubiläum des „MLA 150 Maskless Aligner“, das die hochauflösende Lithografie in Reinräumen weltweit neu definiert hat. Es stellt eine flexible Alternative zur konven­tionellen, maskenbasierten Photolitho­graphie dar und hat die Mikrostrukturierung in Wissenschaft und Industrie grundlegend verändert.

Wichtigstes Element des MLA 150 ist ein DMD (Digital Micromirror Device), das als dynamische Maske eingesetzt wird. Die hohe Alignment-Genauigkeit sowie verschiedene Laserwellenlängen haben das MLA 150 zu einem unverzichtbaren Gerät in vielen Reinräumen gemacht. Mit Belichtungszeiten unter 10 Minuten, vollständigen Prozesszyklen unter 30 Minuten und einer Einarbeitung in unter einer Stunde, setzte das MLA 150 schnell neue Maßstäbe für die Lithografie in Forschung und Entwicklung. Durch die Möglichkeit, vom digitalen Design in wenigen Minuten zu einem perfekt strukturierten Substrat zu gelangen, ermöglicht das MLA 150 schnelle Innovationen in Bereichen wie Quantenbauelementen, MEMS, Mikrooptik und Lebenswissenschaften.

Verfeinert durch enge Zusammenarbeit mit führenden Institutionen – darunter die EPFL, das Kirchhoff-Institut für Physik (KIP) der Universität Heidelberg und das Harvard Center for Nanoscale Systems (CNS) – bewies das MLA 150 schnell seinen Wert. Am KIP ermöglichte es etwa eine Verdreifachung des Ertrags bei der Herstellung komplexer SQUID-Sensoren. Während das System zunächst in Forschungslaboren eingesetzt wurde, zog seine Vielseitigkeit und Kosteneffizienz bald auch industrielle Anwender an, die agile Lösungen für schnelles Prototyping und Kleinserienproduktion suchten. Von Grund­lagenforschung zu Quantenmaterialien bis hin zur Entwicklung von Biosensoren war das MLA 150 ein essentieller Partner bei unzähligen Entdeckungen.

2025 reduzierte Heidelberg Instruments die minimale Strukturgröße des MLA 150 auf 450 nm und erweiterte damit dessen Einsatzmöglichkeiten in hochpräzisen Anwendungen. Heute ist das MLA 150 ein bewährter Allrounder in mehr als 250 Reinräumen weltweit.

Über Heidelberg Instruments

Mit über 40 Jahren Erfahrung und mehr als 1500 installierten Systemen in über 50 Ländern ist Heidelberg Instruments führender Hersteller von hochpräzisen Laser-Lithografiesystemen, maskenlosen Alignern und Werkzeugen für die Nanofabrikation.