Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

• Aufdampfbeschichtungen, Komponenten für
• Dünnschichtanlagen
• Effusionszellen
• Elektronenstrahlverdampfer
• MBE, Komponenten und Zubehör
• MBE Prozesssteuerungssoftware
• MBE-Systeme, Sonderanfertigungen
• Molekularstrahl-Epitaxie
• Plasmaquellen
• UHV-Bauteile, -Systeme, -Messgeräte
  
  

Die Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH entstand 1990 als Ausgründung aus dem Walter-Schottky-Institut der TU München. Heute agiert das Familienunternehmen global. Mit unseren Handelspartnern in den USA, Indien, Japan, Singapur und einem eigenen Service- und Vertriebsbüro in China sind wir nah an unseren Kunden. Die Entwicklung und Produktion unserer hochwertigen Produkte erfolgt durch interdisziplinäre Teams aus Physikern, Ingenieuren, Elektrotechni-kern und Softwarespezialisten. Um höchste Qualitätsstandards zu gewährleisten, fertigen wir nicht nur MBE-Komponenten und MBE-Anlagen, sondern auch Elektrogeräte und Schaltschränke. Der Fokus des Unternehmens liegt auf der Molekularstrahlepitaxie (MBE), einem PVD-Verfahren zum atomlagengenauen Wachstum von Kristallschichten im Ultrahochvakuum. Unser Kundenkreis umfasst führende Wissenschaftler aus den Bereichen Halbleiter- und Materialforschung, mit denen wir unser Portfolio im engen Austausch stetig und anhand konkreter Projekte weiterentwickeln.

Unsere Produkte ermöglichen die Herstellung klassischer SiGe- und III/V-basierter Heterostrukturen und neuartiger Materialsysteme wie topologischer Isolatoren, 2D-Materialien oder Qubits. Weitere typische Anwendungsfelder sind die Oxid-MBE sowie die Abscheidung magnetischer Schichtstrukturen. Für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen wie CIGS oder Perowskite und bei diversen Dünnschichtprozessen sind leistungsfähige und robuste Verdampfer Schlüssel-komponenten. Daher schätzen auch Industriekunden und Vakuumanlagenbauer unsere Expertise in der Verdampfer-entwicklung. Mit Hilfe unserer Aufdampfsimulation können wir Schichtprofile und Materialverbräuche präzise berechnen und somit die Verdampferauswahl und Positionierung bereits in der Anlagenprojektierung unterstützen und später optimierte Verdampfer zuliefern.

Produktspektrum:

• MBE-Anlagen für III/V, II/VI, SiGe, topologische Isolatoren, Oxide und magnetische Materialien, CIGS und Dünnschicht-solarzellen
• Effusionszellen für nahezu alle Elemente des Periodensystems (thermische Verdampfer, Sublimationsquellen, Ventil-Cracker-Zellen, Elektronenstrahlverdampfer, Gasquellen)
• Substratmanipulatoren
• Simulation von Beschichtungsprozessen

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