Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

• Aufdampfbeschichtungen, Komponenten für
• Dünnschichtanlagen
• Effusionszellen
• Elektronenstrahlverdampfer
• MBE, Komponenten und Zubehör
• MBE Prozesssteuerungssoftware
• MBE-Systeme, Sonderanfertigungen
• Molekularstrahl-Epitaxie
• Plasmaquellen
• UHV-Bauteile, -Systeme, -Messgeräte
  
  

Das Unternehmen wurde 1989 von Dr. Karl Eberl als Spin-off des Walter-Schottky-Instituts der Technischen Universität München gegründet und hat seinen Sitz in Weil der Stadt bei Stuttgart. Seit vielen Jahren ist die Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH ein Begriff für Molekularstrahlepitaxie (MBE), wissenschaftliche Beratung und die Realisierung kundenspezifischer Lösungen zur Herstellung atomar dünner Kristallschichten. Unsere Kunden sind vor allem Universitäten, Forschungseinrichtungen und namhafte Unternehmen der Halbleiterindustrie weltweit.

Die Molekularstrahlepitaxie ist ein Verfahren zur Herstellung atomar dünner kris­talliner Schichten auf Halbleitersubstraten wie z. B. Si- oder GaAs-Wafern. Dazu wird ein Ultrahochvakuum im Druckbereich von 10–11 mbar benötigt, um besonders reine Kris­tallschichten zu erhalten.

Unsere Produkte sind Beschichtungsanlagen sowie Verdampfer und Ultrahochvakuumkomponenten, die die Herstellung von Verbindungshalbleiterschichten und neuartigen Materialsystemen wie topologischen Isolatoren, 2D-Materialien und Qubits ermöglichen. Weitere typische Anwendungsfelder sind die Oxid-MBE sowie die Abscheidung magnetischer Schichtstrukturen und die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen. 

Mit Hilfe unserer Aufdampfsimulation können wir Schichtprofile und Materialverbräuche präzise berechnen und damit die Auswahl und Positionierung von Verdampfern bereits in der Anlagenprojektierung unterstützen und optimierte Verdampfer liefern.

Das Produktspektrum umfasst:

• MBE-Anlagen für Verbindungshalbleiter, zur Herstellung von topologischen Isolatoren, Oxidschichten und magnetischen Materialien sowie Dünnschichtsolarzellen
• Effusionszellen für nahezu alle Elemente des Periodensystems (thermische Verdampfer, Sublimationsquellen, Ventil-Cracker-Zellen, Elektronenstrahlverdampfer, Gasquellen)
• Substratmanipulatoren
• Simulation von Beschichtungsprozessen
  
  

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