Ein Dual-Mode-RGA-System für Vakuumdiagnostik und Prozessüberwachung

Merkmale: Das Hiden HMT Quadrupol-Massenspektrometer ist ein Dual-Mode-Restgasanalysator (RGA), der sowohl für die Vakuumdiagnostik als auch für die Prozessüberwachung entwickelt wurde. Im Gegensatz zu herkömmlichen Systemen lässt sich das HMT dank eines speziellen Ionenquellen-/Quadrupolfilters und einer Softwarekorrektur für die häufige Nichtlinea­rität bei Drücken bis zu 5 × 10^–3 mbar ohne differenzielles Pumpen betreiben. Diese einzigartige Fähigkeit, bei hohen Drücken, macht das Gerät besonders wertvoll für die Überwachung von Vakuum- und Prozess­umgebungen. 

Das HMT eignet sich hervorragend für die Restgasanalyse, Prozesskontrolle und Dünnschichtbeschichtung. Typische Prozesse, die es überwachen kann, sind CVD, Ätzen, PECVD und PVD. Es dient sowohl als herkömmlicher hochempfindlicher RGA als auch als Hochdruck-Prozessmonitor und bietet ein vielseitiges Werkzeug für Routinediagnostik, Kontaminationserkennung und Fehlerbehebung. 

Mit dualen Faraday- und Sekundärelektronenvervielfacher-Detektoren liefert das System Partialdruckempfindlichkeiten bis zu 2 × 10^–14 mbar im RGA-Modus und gewährleistet so eine zuverlässige Detektion von Spurengasen. Die Stabilität wird über 24 Stunden innerhalb von ± 1 Prozent gehalten und unterstützt damit Langzeitanalysen und Prozesskontrolle. 

Das Gerät ist über die Software MASsoft Professional steuerbar und bietet schnelles Mixed-Mode-Scanning, grafische und tabel­larische Datenanzeige in Echtzeit, auto­matisierte Massenskalenausrichtung und Hintergrundsubtraktion. Eine Datenexportfunktion sorgt für die Ausgabe im ASCII-Format, wobei Dynamic Data Exchange die Live-Übertragung an externe Anwendungen wie Excel oder SPC-IV ermöglicht. 

Durch die Kombination von Hochdruckbetrieb mit hochempfindlicher RGA-Detektion besitzt das HMT eine unübertroffene Flexibilität für Forschungs- und industrielle Vakuumanwendungen.