Virtuelle Jobbörse November 2025 / ZEISS
Mittwoch, 12.12.2025 / 16:00 - 18:00 Uhr
Forschung & Entwicklung in der Halbleiterfertigungstechnik
Mit hochpräzisen Optiken von ZEISS zu immer leistungsfähigeren und energieeffizienteren Mikrochips: ZEISS Halbleiterfertigungstechnik prägt die weltweite Mikrochipproduktion.
In ihren Vorträgen geben die Referierenden Einblicke in die technischen und wissenschaftlichen Herausforderungen bei der Entwicklung der hochpräzisen Optiken, die in EUV-Lithographie-Maschinen des Herstellers ASML integriert werden.
Hier werden höchste technologische Anforderungen gelöst – von der Fertigungs- bis zur Messtechnik.
Referierende:
Dr. Joachim Stühler
- Studium: Physik (Universität Würzburg)
- Promotion: Raman-Spektroskopie an semimagnetischen Halbleitern
- 1996: Wissenschaftlicher Mitarbeiter (Messtechnikentwicklung), Carl Zeiss SMT GmbH
- Seit 2001: R&D-Abteilungsleiter (Messtechnik, Entwicklung Montage- und Justage-Prozesse für Hochleistungsoptiken)
- Seit 2015: R&D-Bereichsleiter (Entwicklung Prozesstechnologie)
Kontakt: joachim.stuehler@zeiss.com
Anna Präg
Anna Präg, 36 Jahre alt, aus Nürnberg, Chemikerin, seit 2019 bei der Carl Zeiss SMT GmbH, erst wissenschaftliche Mitarbeiterin im Bereich Prozessentwicklung Reinigung, dann Objektarchitektur von Reinigungsprozessen im highNA POB und aktuell Clusterarchitektur im Refurbishment Kollektor, Fokus auf Erarbeitung von Spezifikationen und Anforderungen für Prozesse.
Kontakt: Anna.praeg@zeiss.com
Vincent Kohl
- 2019: B. Sc. Physik an der TU Kaiserslautern (heute RPTU)
- 2021: M. Sc. Physik an der TU Kaiserslautern im Bereich Oberflächenphysik
- 2021: Anstellung bei ZEISS als Wissenschaftlicher Mitarbeiter für Trockenreinigungsprozesse in der Gruppe Cleaning Technology Materials & Tools
- 2023: Objektarchitekt für Mechanik Refurb-Prozesse Bildungsweg
- Seit 2025: Functional Architect Cleanliness Mechanics
Kontakt: Vincent.kohl@zeiss.com
Dr. Dagmar Paarmann
- 1991 – 1997: Physikstudium an der Technischen Universität Berlin
- 1997 – 2001: Promotion an der Georg-August-Universität und am Laser-Laboratorium Göttingen
- Seit 2002: bei der ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology
- 2002 – 2004: wissenschaftliche Mitarbeiterin im Bereich Messtechnik
- 2004 – 2020: Entwicklungsingenieurin im Bereich Testing mechatronischer Komponenten
- 2020 - heute Projektleiterin Testing
- 2013: ZEISS Expert Ladder - Senior
- 2022: ZEISS Expert Ladder - Staff
- Seit Gründung Mitglied im Arbeitskreis Chancengleichheit (AKC) der DPG
- Seit 2018 im Vorstand des AKCs
Kontakt: dagmar.paarmann@zeiss.com
Dr. Tobias Böttcher
- 2011: Dipl.-Phys. Uni Stuttgart
- 2012 – 2019: ITO Uni Stuttgart: Wissenschaftlicher Mitarbeiter und Promotion (Dr.-Ing.), Schwerpunkt optische Mikrotopographie-Messtechnik
- 2019 – 2021: Robert Bosch GmbH: Entwicklungsingenieur Vorentwicklung FinalTest optische Messtechniken für M(O)EMS
- Seit 2021: Carl Zeiss SMT GmbH: System Engineer und Wissenschaftler für höchstauflösende optische Oberflächenmesstechnik
Kontakt: tobias.boettcher@zeiss.com