Virtuelle Jobbörse November / Carl Zeiss AG
Mittwoch, 20.11.2024, 16:00 - 17:00 Uhr
Forschung & Entwicklung in der Halbleiterfertigungstechnik
Mit hochpräzisen Optiken von ZEISS zu immer leistungsfähigeren und energieeffizienteren Mikrochips: ZEISS Halbleiterfertigungstechnik prägt die weltweite Mikrochipproduktion. In ihren Vorträgen geben die Referierenden Einblicke in die technischen und wissenschaftlichen Herausforderungen bei der Entwicklung der hochpräzisen Optiken, die in EUV-Lithographie-Maschinen des Herstellers ASML integriert werden. Hier werden höchste technologische Anforderungen gelöst – von der Fertigungs- bis zur Messtechnik.
Referenten:
Dr. Joachim Stühler
Head of Process Technology Optics
Carl Zeiss SMT GmbH
Studium: Physik (Universität Würzburg) Promotion: Raman-Spektroskopie an semimagnetischen Halbleitern 1996: Wissenschaftlicher Mitarbeiter (Messtechnikentwicklung), Carl Zeiss SMT GmbH Seit 2001: R&D-Abteilungsleiter (Messtechnik, Entwicklung Montage- und Justage-Prozesse für Hochleistungsoptiken) Seit 2015: R&D-Bereichsleiter (Entwicklung Prozesstechnologie)
Dr. Alexander Gärtner
Senior Projektleiter Optiktechnologie
Carl Zeiss SMT GmbH
Alexander Gärtner studierte Maschinenbau an der Hochschule Furtwangen und promovierte anschließend an der Technischen Universität Berlin im Kontext Optikdesign und Farbwahrnehmung. Seit 4 Jahren ist er als technischer Projektleiter in der Optiktechnologie tätig und verantwortete zunächst die Entwicklung hochpräziser Schleifprozesse. 2023 übernahm er die Projektleitung für die Entwicklung und Serieneinführung von Lasermaterialbearbeitungsprozessen in die Vorfertigung für High-NA-EUV-Spiegel.
Daniel Seibold
Entwicklungsingenieur
Carl Zeiss SMT GmbH
2015 – 2019 Studium der Ingenieurpädagogik (Fachhochschule Aalen und Pädagogische Hochschule Schwäbisch Gmünd)
2019 – 2022 Master of Photonics (Fachhochschule Aalen)
2018 – 2022 bei ZEISS als Werkstudent und Absolvent Seit 2022: Entwicklungsingenieur, Carl Zeiss SMT GmbH
Dr. Florian Baumer
Wissenschaftlicher Mitarbeiter (Staff Expert) in der Entwicklung Systemmesstechnik
Carl Zeiss SMT GmbH
2000 – 2005: Physikstudium in Würzburg und Stony Brook, NY, USA
2005 – 2010: Promotion an der U Düsseldorf in experimenteller Quantenoptik
Seit 2010: Wissenschaftlicher Mitarbeiter in der Messtechnikentwicklung; Schwerpunkte: Systemmesstechnik EUV-Beleuchtungssysteme, Konzeptentwicklung, Systemarchitektur bei Carl Zeiss SMT GmbH
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