Semiconducting Transparent Thin Films
Hartnagel, Dawar
Semiconducting Transparent Thin Films
Von H. L. Hartnagel, A. L. Dawar et al..
IOP, Bristol 1995. X + 358 S., Hardcover,
ISBN 0-7503-0322-0
Das Buch von H. L. Hartnagel und anderen ist eine umfangreiche Sammlung von Arbeiten über die Eigenschaften, Herstellungsmethoden und Anwendungen von halbleitenden, transparenten dünnen Schichten und stellt damit sicherlich ein brauchbares Nachschlagewerk dar.
Nach einer kurzen Einführung (alle dortigen Zitate sind übrigens älter als zehn Jahre) werden die Herstellungsmethoden, die elektrischen und optischen Eigenschaften und Anwendungsbeispiele in einzelnen Kapiteln abgehandelt. Dies geschieht im wesentlichen durch Zitieren von Originalarbeiten mit knapper Darstellung der dort erzielten Ergebnisse. Einige Informationen sind trivial, so z. B. das Schema einer Aufdampfanlage auf Seite 27. Die berichteten Ergebnisse sind z. T. sehr widersprüchlich, so z. B. die notwendigen Dotierungskonzentrationen für optimierte Schichteigenschaften. Hier vermißt man eine kritische Wertung bzw. Selektion von Daten. Es erscheint wenig sinnvoll, Daten aneinander zu reihen ohne Vergleich und Interpretation. Ähnliches gilt für die elektrischen Eigenschaften, z. B. von SnO 2-Schichten, die offensichtlich wesentlich von den Herstellungsbedingungen abhängig sind.
Das Buch verliert sich dagegen in einer Fülle von Einzelheiten, die z. T. von geringer Aktualität sind. Wesentliche Fragen wie Schichtdickenkontrolle und Reproduzierbarkeit der Herstellungsprozesse werden kaum behandelt. Gerade diese Fragen interessieren den modernen Ingenieur in Anwendung und Herstellung. Halbleitende dün ne Schichten haben heute ein weites Anwendungsfeld, moderne Anwendungen werden aber nur kurz gestreift. Industrielle Herstellungsverfahren, wie großflächige Kathodenzerstäubung, werden nicht behandelt.
Positiv zu vermerken ist, daß mit diesem Buch ein wesentliches technologisches Gebiet jetzt umfassend dargestellt wurde. Man hätte es aber aktueller und kritischer machen können. Der Preis des Buches ist hoch.
G. Weimann, Freiburg
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