Zwei Systeme für die Plasmadiagnostik
Angebot: Zwei sich ergänzende Systeme für die Plasmadiagnostik: EQP-Serie und ESPion.
Merkmale: Die EQP-Serie kombiniert einen hocheffizienten elektrostatischen Ionenenergieanalysator mit einem Triple-Filter-Quadrupol-Massenspektrometer zur massen- und energieaufgelösten Analyse positiver und negativer Ionen, neutraler Spezies und Radikale. Die aktuellen Konfigurationen EQP-6, EQP-9 und EQP-20 bieten je nach Modell Massenbereiche bis 5000 amu. Energiescans sind in Schritten von 0,05 eV bei einer Energieauflösung von unter 0,25 eV FWHM möglich. Eine optionale zeitaufgelöste Datenerfassung bis 50 ns ermöglicht die Untersuchung gepulster Plasmen sowie von Zünd-, Abschalt- und transienten Vorgängen. Die Software MASsoft Professional dient zur Gerätesteuerung, Datenerfassung und Analyse.
ESPion ist ein Langmuir-Sondensystem zur Echtzeitmessung wichtiger Plasmaparameter wie Plasma- und Floating-Potential, Elektronentemperatur, Ionen- und Elektronendichte, Ionenfluss, Elektronenenergieverteilungsfunktion (EEDF) und Debye-Länge. ESPionSoft ermöglicht die automatische Auswertung anhand von OML- und ABR-Modellen. Verschiedene Sondenoptionen unterstützen Messungen an HF-, DC-, gepulsten und Hochtemperaturplasmen; automatisierte Z-Antriebe ermöglichen zudem ortsaufgelöste Untersuchungen.
Anwendung: Zusammen ermöglichen EQP und ESPion eine detaillierte Charakterisierung der Plasmachemie, Teilchenenergien und elektrischen Plasmaeigenschaften in Forschung und Prozessentwicklung.
