20.06.2011
Improvements in the performance of turbomolecular pumps beyond the molecular range
Der Artikel beschreibt eine neue Generation von Turbopumpen (nEXT).
Ein patentierter, kompakter Metallfeder-Dämpfer erlaubt dem unteren keramisch Kugellager sich radial zu bewegen und eine Unwucht des Rotors auszugleichen. Dadurch muss die Pumpe nach einem Lagerwechsel nicht ausgewuchtet werden, wodurch der Service leicht vom Anwender durchführbar ist. Eine neuartige Kombination von Siegbahn- und Seitenkanal-Verdichtern als Ergänzung der Molekularpumpstufe erlaubt Vorvakuumdrucke bis zu 20 mbar. Dies erweitert den Einsatzbereich von Turbomolekularpumpen merklich in den viskosen Strömungsbereich hinein, was die Systemauslegung vereinfacht und Energieersparnis in vielen Anwendungen erbringt, z. B. an Massenspektrometern.
A. Chew, B. Brewster, I. Olsen and S. Ormrod
Mehr
