Neues Ionen-Mikroskop verspricht einmalige Tiefen- und Detailschärfe

Das deutschlandweit erste Ionen-Mikroskop einer neuen Geräteklasse nahm im Dezember am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) seinen Betrieb auf; weltweit existieren bislang kaum zehn vergleichbare Anlagen. Damit können HZDR-Forscher sowie ihre Kollegen im Dresdner Nanoanalytik-Zentrum an der TU ab sofort noch tiefer in bislang unbekannte Nano-Welten vordringen. Die Anlage kombiniert eine extrem hohe Tiefenschärfe mit einer Auflösung bis in den Angström-Bereich.

Am Ionenstrahlzentrum des Helmholtz-Zentrums Dresden-Rossendorf werden Ionen seit langem vielfältig für die Oberflächen-Behandlung oder auch die Untersuchung von modernen Werkstoffen eingesetzt. Auch über hochauflösende Mikroskopierverfahren verfügen die Forscher. Gerade deshalb freut sich der Leiter des Ionenstrahlzentrums, Johannes von Borany, besonders auf die neue Technik: „Das Ionen-Mikroskop bietet einmalige Möglichkeiten für die Erforschung neuartiger Materialien und ich bin sicher, dass wir uns mit den dreidimensionalen Bildern von nur wenige Nanometer großen Strukturen und den Möglichkeiten zur Nano-Fabrikation neue Bereiche erschließen. Zugleich wollen wir gemeinsam mit Zeiss die ortsaufgelöste Elementanalytik in einem Ionenmikroskop weiterentwickeln, was bisher so noch nicht möglich ist.“

Das Mikroskopsystem Orion Nanofab kommt gleich mit mehreren Vorteilen daher. Die Helium- oder Neon-Ionen entstehen an einem unvorstellbar kleinen Quellpunkt, viel kleiner, als dies etwa an einem typischen Rasterelektronen-Mikroskop (REM) der Fall ist: An gerade einmal drei Atomen aus Wolfram bilden sich die Ionen aus Helium- oder Neongas und werden von dort beschleunigt. So ergibt sich ein extrem kleiner Durchmesser für den erzeugten Ionenstrahl; bei Helium beträgt dieser weniger als einen Nanometer. Zugleich weitet sich der Ionenstrahl auf seinem Weg bis zur Materialprobe kaum auf, das heißt, die Strahldivergenz ist gering. Und genau diese besonderen Eigenschaften des Ionenstrahls sind dafür verantwortlich, dass das Mikroskop  zum einen eine hervorragende Auflösung im Angström-Bereich und zum anderen eine einmalige Tiefenschärfe von bis zu wenigen Mikrometern erreicht. Es liefert 3D-Bilder von nur wenige Nanometer großen Strukturen, seien es Halbleiter-Bauelemente oder auch Löcher in porösen Materialien, und das in bisher unerreichter Tiefenschärfe.

Die Funktionsweise ähnelt im Grunde der eines Rasterelektronen-Mikroskops. Die Ionen werden ebenso über die zu untersuchende Materialoberfläche gerastert wie beim REM die Elektronen. Ein großer Vorteil der Ionen liegt allerdings darin,  unerwünschte Aufladungseffekte bei der Untersuchung isolierender Materialien durch eine „Elektronendusche“ leicht unterdrücken zu können. Deshalb sind Ionen die Teilchensorte der Wahl, um beispielsweise poröse keramische Materialien zu untersuchen, die als zukunftsträchtige Speicher für Wasserstoff oder andere Medien gelten.

Die in der neuesten Generation des Ionen-Mikroskops von Zeiss verfügbaren Neon-Ionen gestatten nun auch die Bearbeitung von Materialien auf der Nanometer-Skala. Der Strahlfleck beträgt hierfür nur zwei Nanometer, damit können Strukturen in ein Material quasi gefräst oder auch Areale mit magnetischen Funktionen versehen werden. „Obwohl wir im Ionenstrahlzentrum schon seit Jahren mit äußerst fein fokussierten Ionenstrahlen arbeiten, konnten wir von solch einem vielseitig einsetzbaren Gerät bisher nur träumen. Auch die Materialforschung in Dresden soll daran partizipieren, weshalb wir das Gerät im Rahmen des Dresdner Nanoanalytik-Zentrums für Kollegen zur Verfügung stellen“, so von Borany.

Das Ionen-Mikroskop im HZDR ist eine Entwicklung des Zeiss-Unternehmensbereichs Mikroskopie und wurde durch ein vom Bundesministerium für Wirtschaft und Industrie (BMWi) finanziertes Projekt im Rahmen der Helmholtz-Plattform für die Charakterisierung von Materialien für Energie-Systeme der Zukunft angeschafft.

HZDR / OD