Excimer Laser Technology
Basting, Marowsky (Hrsg.)
In einer Zeit, in der Festkörper-, Dioden- und Femtosekunden-Laser im Fokus von Forschung und Entwicklung stehen, erscheint dieses Buch zur richtigen Zeit. Als ein Vertreter aus der Familie der Gaslaser hat der Excimer-Laser in den 90er-Jahren Einzug gehalten in zahlreiche, bedeutende industrielle sowie medizinische Anwendungen.
Excimer-Laser wurden schwerpunktmäßig in den 80er- und 90er-Jahren entwickelt: Die treibenden Anwendungen waren und sind heute noch die Mikrolithographie, die Herstellung von TFT-Flachbildschirmen, die Mikrostrukturierung und die Korrektur von Fehlsichtigkeiten. Die Emissionswellenlängen liegen zwischen 126 und 600 Nanometer. Die Laser decken in ihren jeweils spezifischen technischen Auslegungen einen weiten Energiebereich von einigen Millijoule bis hin zu mehreren Kilojoule ab. Wiederholraten bis zu 6000 Hz und Bandbreiten von wenigen pm wurden realisiert.
In 22 Kapiteln gibt das Buch einen umfassenden Überblick über die Excimer-Laser-Technologie. Schnell kann sich der Leser über ein spezielles Teilthema informieren. Ein tiefergehender Einstieg ist über zusätzliche Literaturhinweise auf Lehrbücher und Originalliteratur gewährleistet. Beginnend mit einer Darstellung des Marktpotenzials von Excimer-Lasern und einem historischen Rückblick werden in den Kapiteln 2 bis 9 die physikalischen und technischen Grundlagen beschrieben. Beeindruckend und anschaulich illustriert ist der zweite Teil des Buches (Kap. 10 bis 21), der sich mit einem breiten Spektrum von Excimer-Laser-Applikationen beschäftigt - eine Fundgrube für jeden Anwender. Abgerundet wird dieser Teil durch Kap. 22, das sich mit den neuesten Entwicklungen auf dem Gebiet der EUV-Quellen für die Lithographie beschäftigt.
Bemerkenswert ist die Liste der Koautoren. Den Autoren D. Basting und G. Marowsky ist es gelungen, mehr als 40, z. T. hochrangige Experten aus Wissenschaft und Industrie zu gewinnen. Diese Tatsache macht das Buch zusätzlich interessant. Der Leser erhält damit auch eine Liste mit Kontaktpersonen an die Hand, die es ihm ermöglicht, sein Netzwerk zu erweitern und in einen fachlichen Dialog einzusteigen.
Insgesamt also ein ansprechendes und höchst empfehlenswertes Lehrbuch für alle, die sich im Zeitalter der Optischen Technologien einen Überblick über die Theorie des Excimer-Lasers, seinen technischen Realisierungen und Anwendungen verschaffen möchten.
Dr. Manfred Rahe, Sartorius AG, Göttingen
D. Basting,
G. Marowsky (Hrsg.):
Excimer Laser Technology
Springer,
Heidelberg 2005,
XIX+433 S., geb.,
