Handbook of Semiconductor Technology, Vol. 1 + 2
Jackson, Schröter
Handbook of Semiconductor Technology, Vol. 1 + 2
Von K. A. Jackson und W. Schröter.
Wiley-VCH, Weinheim 2000. XXIV + 1532 S., Hardcover,
ISBN 3-527-29970-X
Kaum eine Disziplin hat in dem Maße über die Wissenschaft hinaus gesellschaftlichen Einfluss gehabt wie die Mikroelektronik und die Halbleiterphysik. Diese Entwicklung ist keineswegs abgeschlossen, wie die Nanophysik an immer kleiner werdenden Strukturen und der ständige Leistungszuwachs der Mikroprozessoren zeigt. Das englischsprachige Handbook of Semiconductor Technology versucht dieser Entwicklung in zwei Bänden auf insgesamt 1500 Seiten (!) Rechnung zu tragen. Hier werden Grundlagen, Struktur, Eigenschaften von Halbleitern sowie Bau elemente und Prozesstechnologie enzyklopädisch illustriert. Es richtet sich als Nachschlagewerk an ein sehr breites Publikum von Studenten, Lehrenden und Forschern über Bauelement-orientierte Ingenieure zu Pro zesstechnologen. Die Autoren des Buches sind vorwiegend an akademischen Institutionen in den USA und Deutschland tätig.
Der erste Band befasst sich ausführlich mit den Grundkonzepten der Bändertheorie, optischen und elektronischen Eigenschaften, der Physik von Störstellen, Defekten, Dislokationen, Korngrenzen und Grenzflächen in kristallinen Materialien, insbesondere III-V-Halbleitern und Silizium. Des Weiteren werden als Spezialthemen Aspekte von widegap Materialien wie SiC und Galliumnitrid behandelt sowie amorphes Silizium und Halb leiterstrukturen für Solarzellen. Der zweite Band geht detailliert auf Silizium und III-V-Prozesstechnologie ein und stellt eine umfangreiche Auswahl von Bauelelementen und deren Herstellung vor.
Das Buch ist verständlich und angenehm zu lesen. Im ersten Kapitel werden die verschiedenen Methoden der Bändertheorie in Form einer umfassend geschriebenen Zusammenfassung eingeführt, gespickt mit vielen Zitaten, die dem interessierten Leser weitere Literaturhinweise geben. Im zweiten Kapitel werden optische und elektronische Eigenschaften behandelt. Hier wurde unserer Ansicht nach mit Information etwas gespart, insbesondere mit Vergleichen zu Experimenten. Man hätte einige spektakuläre und wichtige Neuerungen in der Nanophysik der 90er Jahre wie die Physik von niedrigdimensionalen Systemen, Quantenpunkte, Quantentransport und die Coulomb-Blockade ausführlicher oder auch in einem eigenen Kapitel erwartet.
Gelungen fanden wir die Darstellungen von "Spezialthemen" über Solarzellen und Gallium-Nitrid. Beide sind informativ mit aktuellen Literaturhinweisen und halten die Balance zwischen Theorie und Experiment. Als nicht wirklich nachteilig empfindet man den thematischen Überlapp mit anderen Kapiteln. In einem derart umfangreichen Werk, geschrieben von vielen verschiedenen Autoren, ist dies wohl unvermeidlich.
Ein Kritikpunkt: Es wurden offensichtlich nicht alle Kapitel, unter anderem im Bereich der Prozesstechnologie, auf den neuesten Stand gebracht. Im harmlosesten Fall stößt man auf eine Technologie-Roadmap, die im Jahre 2000 endet. Ärgerlicher jedoch ist es, wenn in mehreren Kapiteln auf Literaturhinweise, die über das Jahr 1990 hinausgehen, verzichtet wird - trotz wichtiger Weiterentwicklungen.
Insgesamt ist das Handbook of Semiconductor Technology zu empfehlen. Es ist in ers ter Linie ein sehr faktenreiches Nachschlagewerk, das die zentralen Elemente der modernen Halbleiterphysik und Prozesstechnologie in sehr gut zu lesenden Beiträgen enthält.
Dr. Michael Specht, Dr. Martin Städele, Dr. Hannes Luyken, Infineon Technologies AG, München
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