Vakuummesstechniken für die Industrie
EMRP und PTB richten Workshop in Berlin aus.
Vakuum ist in vielen industriellen Prozessen eine unverzichtbare Voraussetzung für deren Gelingen. In Halbleiterindustrie, Photovoltaik und Automobilbranche kommt es ebenso zur Anwendung wie bei der Herstellung von Leuchtmitteln, Medizinprodukten und innovativen Beschichtungen oder in Großforschungsanlagen wie Fusionsreaktoren und Teilchenbeschleunigern.
Abb.: Symbol moderner Messtechnik: Die Weltzeituhr am Alexanderplatz. (Bild: PTB)
Im letzten Jahrzehnt musste sich die Vakuummesskunde neuen Herausforderungen stellen: schnelle Prozesse in industriellen Anwendungen benötigen zuverlässige schnelle Messröhren und schnelle Lecksuchverfahren. Die EUV Lithographie ist auf extrem saubere Komponenten und zuverlässige Bestimmung der Ausgasrate angewiesen. Bestimmungen zu Arbeitssicherheit und Umweltschutz erfordern ebenfalls eine zuverlässige Lecksuche. Die bestehenden Standards der EU zu Vakuummessverfahren konnten nicht die für diese Zwecke erforderliche Rückverfolgbarkeit gewährleisten.
Zum Abschluss des Projektes werden die Ergebnisse Fachleuten aus Industrie und öffentlichen Einrichtungen vorgestellt. In Diskussionen sollen darüber hinaus Schlussfolgerungen gezogen und weitere Erfordernisse ermittelt werden. Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) richtet den Workshop vom 24. bis 25. Juni 2014 in Berlin aus und lädt herzlich zu dieser vom European Metrology Research Program (EMRP) gestifteten Veranstaltung ein.
PTB / LK
