Ultrahochvakuum-Gaseinlassventil
Das PRV ist ein Ultrahochvakuum (UHV)-Gaseinlassventil, das für einfache Bedienung, präzise Steuerung und minimales Totvolumen entwickelt wurde. Dieses Ventil ist ideal für Massenspektrometrie-Ionenquellen, Sputtern und jede UHV-Anwendung, die eine präzise Gassteuerung erfordert. Es bietet eine hohe Leistung und Zuverlässigkeit.
Merkmale:
- Keine manuelle Einstellung erforderlich, ausheizbar bis 100 °C
- Vielseitige Installation: Lässt sich überall installieren, auch in schwer zugänglichen Bereichen
- Minimales Totvolumen
- Design und Funktionalität (Standard- anschlüsse): 3 mm Swagelok-Anschluss für die Gasleitung, DN40 CF-Flansch für die Vakuumseite, BNC-Buchse für den Stromanschluss
Das PRV basiert auf dem eingestellten Pfeiffer Vacuum UDV140 und zeichnet sich durch ein robustes, zuverlässiges und war- tungsfreies Design mit einem M5-Anschluss auf der UHV-Seite aus. Das Ventil besteht aus zwei zusammengepressten Saphirplat- ten, wobei eine Platte ein zentrales Loch und einen Kanal zur Vakuumseite hat. Ein Piezoaktuator hebt eine Seite der oberen Saphirplatte an, um den Gasdurchfluss zu ermöglichen, wobei die Durchflussmenge durch die angelegte Gleichspannung ge- steuert wird. Weitere Merkmale: Saphir und rostfreier Stahl in Kontakt mit UHV, flexible Viton-Dichtung auf der Gasseite. Beim Ab- ziehen des BNC-Steckers schließt sich das Ventil automatisch durch Entladung des Piezos über einen Widerstand oder wenn die Gleichspannung auf 0 V gesetzt wird. Das PRV rreicht Vakuumdrücke zwischen 5 – 10–4 mbar und < 10–8 mbar für typische Laborgase wie Ar oder O2, < 10–11 mbar, wenn die Gasleitung evakuiert ist.
