23.12.2011
Großflächige Plasmabeschichtungen: Niederdruck oder Atmosphärendruck?
Vergleich von Verfahren zur Beschichtung von Bahnenware
Die Forschung auf dem Gebiet der Atmosphärenplasmen wird häufig mit dem Argument motiviert, dass diese im Vergleich mit Niederdruckplasmen die kostengünstigeren Prozesse erwarten lassen. Ein Kostenvergleich von plasmachemischen Prozessen, die auch an
Atmosphäre möglich sind, ergeben jedoch ein anderes Bild: Hohe Gasflüsse, die bei Atmosphärenplasmen notwendig sind, erweisen sich als kostenintensiver als Vakuumtechnologie für großflächige Plasmabeschichtungen.
Dirk Hegemann
