13.09.2022

Mikrosysteme in die Anwendung bringen

Entwicklungen bei MEMS- und MOEMS-Bauelementen bieten neue Möglichkeiten für die Industrie.

Hochsensible elektronische Bauelemente sind die Treiber unserer digitalisierten Welt. Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) eröffnen dabei neue Möglich­keiten bei der Miniaturisierung in weit­reichenden Anwendungs­feldern. Das Fraunhofer IPMS bietet mit seinem hochmodernen 200-Millimeter-Reinraum die komplette Wertschöpfungs­kette für MEMS sowie optische Bauelemente MOEMS (Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme). Dabei erstreckt sich das Angebot von der Beratung bezüglich Machbar­keiten über die erste Demonstration auf Waferlevel bis hin zur Pilot­fertigung mit Fertigungs­kapazitäten von mehr als 1100 Waferstarts pro Monat.

 

Abb.: Blick in den 200-mm-Reinraum des Fraunhofer IPMS (Bild: Fh.-IPMS)
Abb.: Blick in den 200-mm-Reinraum des Fraunhofer IPMS (Bild: Fh.-IPMS)

Unter dem Motto „Intelligent Sensing for Better and Smarter Living“ stellt das Fraunhofer IPMS auf dem diesjährigen MEMS Summit in Grenoble seine umfassende Expertise im Bereich der 200-Millimeter-Mikroelektronik vor. Neben der Konzeptionierung, Entwicklung und Fertigung von MEMS- und MOEMS-Bauelementen besitzt das Fraunhofer IPMS das Know-How zur Fertigung von individualisierten BSOI-Wafern, der elektrischen Charakterisierung von Bauelementen und entwickelt im Anschluss an die Fertigung geeignete Packaging-Lösungen. Für Kunden, insbesondere Start-Ups, Mittelständler und Unternehmen in Nischenmärkten ohne eigene Silizium-basierte Fertigung (Fab) ermöglicht dies den Zugang zu Hochtechnologie.

Der Klimawandel macht auch in der Halbleiterindustrie nicht halt. Daher legt das Fraunhofer IPMS einen Schwerpunkt auf nachhaltige Wertschöpfungs­ketten und Devices und evaluiert beispielsweise klimafreundliche Alternativen für kritische Materialien und Prozesse. Im Projekt „GreenICT“ wird zusammen mit Partnern der Forschungs­fabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) die Ressourcen­minimierung bei der Elektronik­produktion vorangetrieben. Das Fraunhofer IPMS konzentriert sich neben energiesparenden Sensor-Edge-Cloud-Systemen und Kommunikations­infrastrukturen insbesondere auf eine ressourcen­optimierte Mikro­elektronik-Produktion.

Durch seine Expertise bietet das Fraunhofer IPMS ein breites Spektrum mit umfassenden Angeboten für Anlagen-, IC- und Materialhersteller, um eine ressourcenoptimierte und umweltfreundliche Elektronik-Produktion zu realisieren. Im Bereich der Prozessierung unterstützt das Institut seine Kunden durch Beratungs- und Entwicklungs­leistungen mit dem Ziel der Ressourcenoptimierung insbesondere im Bereich der Lithographie und der Nassprozesse. Dies beinhaltet sowohl die Untersuchung von alternativen Materialien (etwa der Untersuchung von ceroxidfreien Slurries für CMP-Prozesse) und deren Verbrauchs­reduktion als auch die Optimierung des Energie­verbrauchs zur Reduktion des CO2-Impacts.


Fh.-IPMS / DE

 

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