
Kompakte Mikroplasmaquelle für lokalisiertes Plasma in UHV-Anlagen
Angebot: Die „Flexible Microplasma Source“ FMP ist eine kompakte und hocheffiziente Mikrowellen-Plasmaquelle, die ein hochreines, lokalisiertes, freies Mikroplasma direkt an der Austrittsöffnung erzeugen kann.
















