Aktive Thermosonde zur Messung des Energieeinstromes
Funktion und Einsatz bei Plasmaprozessen
Es wird eine aktive Thermosonde zur Bestimmung des Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen vorgestellt. Das Messprinzip beruht auf der Kompensation des eintreffenden Energieeinstromes. Wesentliche Vorteile gegenüber anderen Verfahren sind die Möglichkeit der kontinuierlichen Messung, auch in beschichtenden Plasmen sowie der Verzicht auf eine Kalibrierung der Sonde.
Der Energieeinstrom kann an ausgewählten Positionen der Anlage gemessen und die Korrelation mit den Eigenschaften der herzustellenden Schicht bzw. der zu behandelnden Oberfläche festgestellt werden. Da die Sonde empfindlich auf Änderungen der Prozessparameter unmittelbar an der Oberfläche des Substrates reagiert, ist sie besonders zur kostengünstigen Regelung und Überwachung des Schichtbildungs- bzw. Behandlungsprozesses geeignet und kann damit zur Qualitätssicherung eingsetzt werden. Die Sonde ist für industrielle Prozesse als auch für akademische Fragestellungen geeignet.
Ruben Wiese, Holger Kersten, Georg Wiese, Marko Häckel
Mehr
