Plasma im Fokus der Industrieforschung
Inline Charakterisierung und Kontrolle der optischen Eigenschaften hochflexibler optischer Präzisionsschichten.
Als einer von neun Partnern des nun abgeschlossenen BMBF-geförderten Verbundvorhabens zur „Erforschung hochflexibler optischer Präzisionsschichten auf Polymeroberflächen (FlexCoPlas)“ stellte die Sentech Instruments GmbH ihre im Projekt erarbeiteten Ergebnisse vor.
Abb.: Das im FlexCoPlas-Verbundprojekt entwicklelte Gerät zur Transmissionsmessung an Folien und Linsen. (Bild: Sentech)
So wurde zum einen ein optisches Breitbandmonitoring mit adaptiver Strategie entwickelt, welches auf der in situ Transmissionsmessung basiert. Dieses arbeitet mit adaptiven Strategien während der Abscheidung zur Bestimmung aktueller Dicken und zur Berechnung und Signalisierung der Abschaltpunkte der aktuellen Teilschicht. Weiterhin können Schichtänderungen des bereits abgeschiedenen Stapels (Kompaktierung, Brechzahländerung) betrachtet werden, auch ist der Abgleich mit Schwingquarzdaten bei Verfügbarkeit erweiterbar, um die Designkorrektur für Zielspektren zu ermöglichen. Es können nun mehr als zehn Schichten ausgewertet werden. Vor allem ist die bei größeren Gesamtschichtdicken relevante Brechzahldrift im Material besser auszugleichen. Anwendungen finden sich hier unter anderem im Bereich von höherwertigen Filterschichten, bei denen es auf genaue Kantenlagen und Transmissionswerte ankommt.
Zum andere entwickelte Sentech ein Gerät für Transmissionsmessungen an Folien und Linsen. Bei der Vermessung von Folien sind Lage, Wölbungen, Wellen, Verspannungen und Mikrostrukturen, wie man sie auch von der Haushaltsfolie kennt, für die klassische Transmissionstechnik störend. Der Sentech Messkopf beseitigt diese Nachteile für Messungen im Bereich 380 bis 2000 Nanometer und kann sogar alle Arten von Folien in Transmission vermessen. Der Messkopf ist sowohl als Desktopgerät als auch für die in line Messung von z.B. Roll-to-Roll Anwendungen einsetzbar. Eine weitere Anwendung der hohen Lagetoleranz ist die Vermessung der Transmission von Linsen, bei denen die Krümmung durch den breiten Fangbereich kompensiert wird. Damit können z.B. Entspiegelungen einfach kontrolliert werden.
Sentech plasmagestützte Ätz- und Beschichtungsanlagen sowie Anlagen zur Atomlagenabscheidung unterstützen modernste Prozesse und Anwendungen für die Herstellung von Nanostrukturen in Forschung, Entwicklung und dem industriellen Umfeld. Schädigungsfreie Bearbeitung von Halbleitermaterialien und Abscheidung von dünnen Barriere- und Passivierungsschichten bei Temperaturen unterhalb 100 Grad Celsius zeichnen Sentech Anlagen aus.
Insgesamt neun Unternehmen und Forschungseinrichtungen waren an dem Projekt beteiligt, das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung BMBF mit insgesamt 2,64 Millionen Euro im Rahmen der Photonik Forschung Deutschland – Förderinitiative „Innovative Anwendungen der Plasmatechnik“ gefördert wurde.
Sentech / LK
