Plasmadiagnose

Merkmale: Das System besteht aus einem elektrostatischen Sektorenfeld-Energieanalysator für die Ionenenergieanalyse. Darauf folgen ein Dreifach-Quadrupol-Massenfilter sowie ein pulsionenzählender Elektronenvervielfacher, konfiguriert für die Detektion positiver oder negativer Ionen. Das EQP-System erfasst die Massenspektren und Energieverteilungen von Neutralen, Radikalen und Ionen (positiv und negativ). Trends in der Intensität sind über die Zeit erfassbar. Schnelle Erfassungsmodi ermöglichen die Untersuchung von Transienten und Nachleuchten. Das EQP-Massenspektrometer ist ein PC-gesteuertes Gerät für die Plasmaanalyse und -diagnostik. Spektren können mit der Windows-basierten „MASsoft“-Software einfach erfasst, gespeichert und manipuliert werden.
Der Detektor bietet hohe Empfindlichkeit, schnelles Ansprechverhalten und einen hohen Dynamikbereich (>1010) für Plasma-Ionen und Neutrale. Der Massenbereich umfasst 300 amu, 510 amu, 1000 amu und 2500 amu. Ein Energiebereich von 100 eV ist Standard und 1000 eV optional, um dem Anwender die Analyse von positiven und negativen Ionen und Erscheinungspotenzialspektren für die Radikalanalyse zu ermöglichen. Signal-Gating durch direkten TTL-Eingang ist ebenfalls verfügbar mit einer Gating-Auflösung bis zu 1 μs für Nachleuchtstudien.