18.09.2003

Microoptics

Sinzinger, Jahns

Microoptics

Von S. Sinzinger u. J. Jahns.
WILEY-VCH, Weinheim 1999. X + 418 S., 189 Abb., 16 Tab., geb.,
ISBN 3-527-29428-7

Mikrooptik steht für die Realisierung optischer Funktionen wie Bild- oder Informationsverarbeitung mit mikroskopischen Bauelementen. Von optischen Technologien werden ja besondere Impulse für das anbrechende Jahrhundert erwartet; der Mikrooptik kommt dabei voraussichtlich eine besondere Rolle zu. In der Mikrooptik ist die Realisierung der gewünschten Funktionen ganz besonders eng mit Fragen der Herstellung der betreffenden Bauelemente verknüpft. Die eingesetzten Herstellungstechnologien sind eng mit denen der Halbleiterfertigung verwandt. Allerdings musste man sich für eine umfassende aktuelle Darstellung dieser Technologien aus dem spezifischen Betrachtungswinkel der Optik die erforderlichen Informationen bislang aus mehreren Quellen zusammen suchen. Die Autoren des vorliegenden Buches unternehmen den Versuch, einen Querschnitt und Überblick anzubieten. Um es gleich vorweg zu sagen: Ich meine, es ist ihnen gut gelungen.

Der Inhalt: Zunächst ein kurzes Vorwort von KenichiIga und ein einleitender Überblick. Danach jeweils ein Kapitel zu folgenden Themen: spezielle Fragen der Skalierung optischer Komponenten auf Miniaturmaße. Fabrikationstechniken wie Sputtern, MBE, Ätzen, Diamantdrehen, Eindiffundieren etc. Refraktive Elemente wie Mikrolinsen, Gra dientenindexlinsen oder Mikroprismen. Diffraktive mikrooptische Elementen (Gitter, holografische Elemente). Integrierte Wellenleiteroptik. Mikrooptische Systeme. Optoelektronische devices wie SEEDs (self electro- optic effect device) oder VCSELs (vertical cavity surface emitting laser). Array-Illuminatoren.

Strahlformungstechniken wie Kollimation astigmatischer Strahlen oder Besselstrahlformung. Spezifische mikrooptische Anordnungen für Informationstechnologie (Interconnect, perfect shuffle, clock distribu tion, Speicher). Weitere Anwendungen, z.B. bestimmte Sensoren.

Eine sympathischer Zug des Buches ist die Tatsache, dass konsequent am Ende eines jeden Kapitels ein Glossar wichtiger Begriffe, ein Verzeichnis der neu hinzugekommenen Formelzeichen und ein paar Übungsaufgaben stehen, deren Lösungen sich im Anhang finden. Dazu kommt jeweils noch ein Literaturverzeichnis mit teilweise über 100 Einträgen. Diese Ausstattung erleichtert das Arbeiten mit dem Buch und eine weitere Vertiefung.

Der Schwerpunkt der Darstellung liegt keineswegs bei formalen Herleitungen, aber dennoch sind die in einigen Abschnitten angegebenen mathematischen Zusammenhänge angemessen ausführlich. Das Buch wahrt insgesamt eine gelungene Balance aus Breite (Stoffumfang) des Überblicks und Tiefe (Detailgenauigkeit) der Information.

Als Zielgruppe kommen Personen in Betracht, die sich in die Materie gründlich einarbeiten wollen, um danach selbst in diesem Bereich aktiv zu werden. Zugleich eignet sich das Buch aber auch als Nachschlagewerk für alle jene, die bei ihrer eigenen Arbeit in Berührung mit der hier dargestellten Thematik kommen.
Prof. Dr. Fedor M. Mitschke, Fachbereich Physik, Universität Rostock

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