24.01.2020

Atomlagengenauer 3D-Druck

Europäisches Konsortium beschäftigt sich mit additiver Fertigung in Mikro- und Nanotechnologie.

Komplexe, mehrstufige Vorgänge, die langsam, material- und energie­intensiv sowie kostspielig sind – und noch anspruchsvoller, wenn mehrere unterschiedliche Materialien kombiniert werden sollen: Auf solchen Verfahren beruht die Material­strukturierung in der Mikro­elektronik. Das will ein europäisches Konsortium unter Federführung der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) ändern. Das Team will die additive Fertigung auf die Mikro- und Nanotechnologie anwenden. Die Vorteile: Additive Fertigung bietet schnellere und flexiblere Prozesse und verbraucht gleichzeitig weniger Rohmaterialien und Energie als bisherige Verfahren.
 

Abb.: Teil des Gas­versorgungs­systems des aktuellen Laborprototyps, der an...
Abb.: Teil des Gas­versorgungs­systems des aktuellen Laborprototyps, der an der FAU gebaut und getestet wurde. (Bild: ATLANT 3D Nanosystems)

Um einen „Atomlagen-3D-Drucker“ herzustellen, der beliebige Formen mit einer senkrechten Auflösung in der Größen­ordnung von nur einem Atom erzeugen kann, will das Team von Wissenschaftlern unter der Leitung von FAU-Forscher Julien Bachmann die Expertise der verschiedenen Projekt­partner zusammenführen: von der chemischen Steuerung ultradünner Schichten über die Gasabgabe und mikro­elektronische Geräte bis hin zu Mikro­verarbeitung und Automatisierung. Das Ziel ist, einen Prototyp eines solchen Druckers für die Mikro­elektronik zu entwickeln, der gewerblich vertrieben werden kann.

Neben der FAU sind an dem Konsortium die Unternehmen ATLANT 3D Nanosystems, Femtika und SEMPA Systems sowie das Institut für Elektrotechnik der Slowakischen Akademie der Wissenschaften beteiligt. Das Projekt wird von der Europäischen Union im Rahmen des Programms „Fast Track to Innovation” mit drei Millionen Euro über einen Zeitraum von zwei Jahren gefördert. 

FAU / DE
 

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