Hochflexible Fertigung von DUV-Mikrooptiken

Homogenisierer, wie beispielsweise Mikrolinsen-Arrays und Diffraktive Optische Elemente (DOE), werden in optischen Systemen von Fertigungsausrüstungen für Halbleiter und Flat Panel Displays eingesetzt, z. B. Wafer-, Masken- und Panel-Inspektionssysteme, Lithografieanlagen zur hochgenauen Erzeugung kleiner Strukturen. Sie spielen eine wichtige Rolle in Beleuchtungssystemen und dienen der definierten Verteilung des Lichtes über einen festgelegten Bereich in einer bestimmten Ebene des Strahlenganges. Die hierfür eingesetzten optischen Bauelemente müssen dauerhaft hohe Lebensdauer und eine optimale Transmission der kurzwelligen Laserstrahlung gewährleisten. CaF₂ bietet im Vergleich mit anderen optischen Materialien eine höhere Zerstörschwelle und damit eine bessere Langzeitstabilität der optischen Eigenschaften.

Zur Semicon West demonstriert Jenoptik mit verschiedenen CaF₂-Homogenisierer-Anordnungen die flexiblen Fertigungsmöglichkeiten mikrooptischer Strukturen in CaF₂ insbesondere für Wellenlängen im Deep Ultraviolet (DUV) von 193 bis 266 Nanometern. Mit einem fortschrittlichen Mikrostrukturierungsprozess in der Kombination von Grautontechnologie und einem hochentwickelten waferbasierten Ätzprozess können kundenspezifische refraktive, diffraktive und hybride Strukturen auch mit asymmetrischen Formen und Krümmungen realisiert werden. Der Vorteil dieser Methode liegt vor allem in der Erzeugung freier Geometrien sowie in der Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Mikrostrukturierungsprozesse in CaF₂. Dies ermöglicht vielfältige Strahlverteilungsmuster und eröffnet somit neue Möglichkeiten bei der Optimierung der Systemperformance in Halbleiterfertigungsausrüstungen.

Darüber hinaus stehen Standardfertigungsprozesse für verschiedene optische Materialien, wie SiO₂, GaAs, GaP, Al₂O₃, ZnS, ZnSe, Ge, Chalkogenidglas (IG6) etc. zur Verfügung. Qualifizierte Tests bei der jeweiligen Einsatzwellenlänge sichern die Qualität der optischen Produkteigenschaften.

Jenoptik / OD