18.10.2018

Flexible und handliche Plasmaquellen

FBH präsentiert Allrounder zur Integration in Produktionsmaschinen und für medizinische Behandlungen.

Auf der Fachmesse SEMICON Europa in München stellt das Ferdi­nand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchst­frequenz­technik (FBH) vom 13. bis 16. No­vem­ber 2018 aktuelle Neu - und Weiter­ent­wick­lungen vor. Das Institut präsentiert sich auf dem Ge­mein­schafts­stand der „For­schungs­fabrik Mikroelek­tronik Deutschland“ in Halle A4, Stand 504.

Abb.: Kompakte, bei Atmosphärendruck arbeitende Plasmaquelle. (Bild: FBH)

Am Messestand zeigt das FBH unter anderem eine kompakte atmo­sphäri­sche Plasma­quelle, die sich zum Beispiel für die Be­hand­lung von Ober­flächen und zur Inte­gration in Pro­duk­tions- oder Pro­zess­ma­chinen eignet. Vor Ort werden bei­spiel­haft Test-Ober­flächen aktiviert, um sie etwa zum Drucken oder Be­schichten vor­zu­bereiten. Die Quelle im 2,45 GHz-ISM-Band besteht aus einem Mikro­wellen-Leistungs­oszillator, einem Reso­nator zur Plasma-Anre­gung und der An­steuer­elektronik, die gemein­sam in einem kom­pakten Gehäuse integriert sind.

Die Zufuhr des Plasma-Mediums (wie z. B. Luft, Sauerstoff oder Argon) sowie des Kühl­me­diums ist so flexibel rea­lisiert, dass die Quelle sowohl händisch (z.B. in der Medizin) wie auch in Pro­duktions- oder Prozess­maschinen (z.B. Druck­industrie, Beschichtungs­anlagen) integriert werden kann. Die Plasma­quelle erreicht eine Leistung um die 20 W, was für viele An­wen­dungen ausreicht.

Zudem wird in München auch eine All-in-One-Puls­licht­quelle (PLS) zu sehen sein, die zwei Kern­kom­pe­tenzen des FBH vereint: maß­ge­schnei­derte Diodenlaser für die Impuls­er­zeugung in Ver­bindung mit op­ti­mierten Hoch­ge­schwin­digkeits-Kom­po­nenten für die Ansteuerung. Die PLS liefert hoch­präzise Pulse im Piko- und Nano­se­kun­den­bereich mit Nano­joule-Ener­gien. Puls­energie, -weite, und -abstand sowie Wieder­hol­fre­quenzen lassen sich dabei flexibel anpassen.

Abb.: Herzstück der kompakten Puls­licht­quellen des FBH: Die Piko­sekunden-Licht­quelle mit hybrid inte­grierter Elektronik vereint Kom­peten­zen aus Opto­elektronik und Mikro­wellen­technik. (Bild: FBH)

Das Lasersystem bietet frei wähl­bare Folge­fre­quen­zen vom Hertz- bis in den Mega­hertz- Bereich und Puls­spitzen­leis­tun­gen von bis zu 50 Watt. Das All-in-One-System kann com­pu­ter­gesteuert in meh­reren Puls-Modi geschaltet werden und lässt sich einfach in ver­schie­denste Laser­systeme integrieren.

Außerdem stellt das FBH den Dem­onstrator eines poten­tial­freien dif­feren­tiellen Tast­kopfs zum Messen hoher Ströme vor. Mit diesem Mess­adapter für Oszillo­skope können dif­feren­tielle elek­trische Signale im Fre­quenz­bereich von DC bis über 1 GHz galvanisch getrennt gemessen werden – auch bei Über­lagerung durch eine hohe Gleich­takt­spannung. Als weiteres Ex­ponat sind hetero­integrierte Chips für Tera­hertz-An­wen­dungen zu sehen, die die Vor­teile zweier Technologie­welten auf Chip­ebene vereinen: die hohen Aus­gangs­leistungen von Indium­phos­phid mit der Kom­plexität der Silizium­technologie.

FBH / LK

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