22.09.2026 • Medizinphysik

Siemens eröffnet Photon-counting Sensor Fab

Ent­wick­lung und Her­stel­lung von Sen­so­ren für quan­ten­zäh­len­de Com­pu­ter­tomo­gra­phen – Züch­tung von Kris­tal­len im in­dus­tri­el­len Maß­stab.

In der Reinraumfertigung werden Wafer in Nassbänken bearbeitet. Orangefarbenes Licht schützt die lichtempfindlichen Fotolacke vor einer unbeabsichtigten Belichtung.
Quelle: Siemens Healthineers


Siemens Healthineers eröffnete am 11. September am Standort Forchheim seine in Europa einzigartige Semiconductor Fabrication Plant. In der Photon-counting Sensor Fab stellt das Unternehmen Halbleitersensoren für Röntgenstrahlung auf Basis von Cadmiumtellurid (CdTe) her. Die Sensoren werden in quantenzählenden Computertomographen (Photon-Counting CT) verwendet, die dadurch schärfere Bilder bei geringerer Röntgenstrahlendosis erzeugen können. Zur Eröffnungsfeier begrüßte Bernd Montag, CEO von Siemens Healthineers, etwa dreihundert Gäste aus Gesundheitswesen und Politik, Projektbeteiligte sowie Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. 

Die Fabrik mit einer Nutzfläche von etwa 9.500 Quadratmetern wird zukünftig tonnenweise Cadmium und Tellur von höchster Reinheit verarbeiten. Zur umweltverträglichen Handhabung von Gefahrstoffen investierte Siemens Healthineers eine einstellige Millionensumme für eine Abluft- sowie eine Abwasserreinigungsanlage. Für den Bau und die technische Ausstattung investierte Siemens Healthineers rund 100 Millionen Euro und schafft über hundert neue Arbeitsplätze. Die Bauarbeiten begannen 2023 und wurden jetzt abgeschlossen.

Mit der steigenden Nachfrage nach photonenzählenden Computertomographen stößt die bisherige Produktionsanlage des Unternehmens für Halbleitersensoren in Japan an ihre Kapazitätsgrenzen. „Wir wollen keine Ein-Standort-Stra­te­gie in Japan verfolgen, sondern auch hier im Zentrum der CT-Ent­wick­lung in Forchheim in der Lage sein, im industriellen Maßstab Kristalle zu fertigen“, betont Uwe Rückl, Leiter CT Detec­tors & Crystals bei Siemens Healthineers. „Die Sensoren herzustellen ist komplex und aufwendig, der Prozess beinhaltet viele Einzelschritte.“

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Ronja Pappenberger • 6/2025 • Seite 44

Heilende Strahlung

Die Photon-counting Sensor Fab bildet den gesamten Prozess ab, von der Graphitbeschichtung der Quarzteile, der Bildung von Keim- und Polykristallen über das kontrollierte Kristallwachstum. Die Ausgangsstoffe Cadmium und Tellur verschmelzen erst bei rund 1100 Grad Celsius dauerhaft miteinander.

Es dauert rund zehn Wochen, bis aus der Cad­mium-Tellur-Ver­bin­dung der eigentliche Einkristall erwächst. Die gezüchteten Kristalle werden schließlich submillimetergenau geschnitten und poliert, bevor im Reinraum die Pixelstruktur lithografisch aufgebracht wird. Die fertigen Sensoren werden in der CT-Fer­ti­gung in photonenzählende Computertomographen verbaut.

Das neue Gebäude in Forchheim hat die „LEED Platin“-Zer­ti­fi­zie­rung und wird nachhaltig CO₂-neu­tral betrieben. So wird beispielweise die Abwärme aus der Produktion genutzt, um das Gebäude zu heizen, und eigener Strom mit einer 170-kWp-Photo­vol­taik­anla­ge auf dem Dach erzeugt. Die umweltgerechte Gestaltung der Außenanlagen, helle versiegelte Flächen und eine schattenspendende Begrünung verhindern Wärmeinseleffekte und das Aufheizen des Gebäudes.

Bei der Pflanzenauswahl setzte Siemens Healthineers auf heimische, standortgerechte Arten, um die lokale Biodiversität zu fördern. Diese unterstützt ein innovatives Beleuchtungskonzept mit LED-Technik, und die reduzierte Beleuchtung der Außenanlagen vermeidet Lichtverschmutzung und schützt so nachtaktive Tiere. [Siemens / dre]

Anbieter

Siemens Healthineers AG

Siemensstr. 3
91301 Forchheim
Deutschland

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