Neue Räume für effiziente Halbleiter
Laborgebäude am Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik eingeweiht.
Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF in Freiburg hat seine hochmoderne Forschungsinfrastruktur ausgebaut und die Bedingungen für die Entwicklung zukunftsträchtiger Halbleiter-Technologien weiter verbessert. Mit der Unterstützung des Bundes und des Landes Baden-Württemberg wurden ein Laborgebäude und eine MOCVD-Halle gebaut, durch die das Institut seine Aktivitäten in den Bereichen der Optoelektronik, Quantentechnologien und Materialwissenschaften intensivieren kann. Die feierliche Einweihung der Neubauten fand vor wenigen Tagen statt.
Zwei neue Forschungsgebäude ermöglichen den Forschenden des Fraunhofer-Instituts auf dem neuesten Stand der Technik innovative Technologien auf der Grundlage von Verbindungshalbleitern zu entwickeln. Mit dem neuen Laborgebäude für optoelektronische Messtechnik und Quantensensorik sowie der neuen Anlagenhalle für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) legt das Institut den Grundstein für die strategische Weiterentwicklung seiner Kernkompetenzen. Die Neubauten erfüllen hohe Standards hinsichtlich Energieeffizienz, Nachhaltigkeit und Baudynamik. „
Mit den neuen Laboren stehen unseren Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern noch bessere Forschungsbedingungen zur Verfügung. Namentlich die Applikationslabore für Quantensensorik und Laser-Spektroskopie erweitern die Kooperationsmöglichkeiten mit Industrie- und Forschungspartnern signifikant. Durch die neue MOCVD-Halle konnten wir zudem unseren Epitaxie-Anlagenpark vergrößern, das Niveau der Materialqualität und Reproduzierbarkeit weiter erhöhen und zugleich einen deutlich effizienteren Betrieb sicherstellen“, sagt der Bereichsleiter für Forschungsinfrastruktur, Martin Walther. Der geschäftsführende Institutsleiter Rüdiger Quay ergänzt: „Es freut mich sehr, dass die Gebäude den Anforderungswert der Energieeinsparverordnung (EnEV) übertreffen und CO2-neutrale Bauelemente aufweisen. Das ist ein wichtiges Signal für unser Vorhaben, gemeinsam mit der Fraunhofer-Gesellschaft bis 2030 Klimaneutralität zu erreichen.“
Im neuen Laborgebäude stehen insgesamt 22 Labore auf 900 Quadratmeter Nutzfläche zur Verfügung, die baudynamisch für den Einsatz höchst schwingungsempfindlicher Geräte konzipiert wurden. Sie halten die Schwingungsgrenzwertlinien B und C der „Vibration Criteria“ (VC) ein und eignen sich so beispielsweise für den Betrieb von Mikroskopen bis zu tausendfacher Vergrößerung oder Lithographie- wie Inspektionsgeräten mit Strukturbreiten bis drei beziehungsweise einem Mikrometer. Dies gewährleistet langfristig die Nutzung anspruchsvoller Messtechnik für immer kleiner werdende Strukturen und erlaubt die intensive Erforschung und Entwicklung von Quantensensoren wie Rastersonden-, Weitfeld- und Laserschwellen-Magnetometern sowie laserbasierter Sensorik und innovativer Halbleiter-Laser.
Die neuerrichtete MOCVD-Halle bietet Platz für fünf Anlagen, mit denen das Institut insbesondere seine epitaktischen Aktivitäten im Bereich der Halbleiter mit hoher Bandlücke ausbauen kann. Zu den vier Bestandsanlagen, die aus dem Reinraum des Hauptgebäudes umgezogen wurden, kam eine neue Anlage speziell für die Abscheidung von Aluminiumgalliumnitrid mit hohem Aluminiumgehalt. Die neue Anlage erreicht Temperaturen bis zu 1400 Grad Celsius, was sich positiv auf Kristallqualität und Homogenität auswirkt. Vorteile ergeben sich zudem aus der Ausstattung der Halle, die über autonome regenerative Aufbereitungssysteme verfügt, wodurch energieeffizientere und nachhaltigere Fertigungsprozesse ermöglicht werden.
Fh. IAF / JOL
