24.10.2025 • QuantenphysikHalbleiter

Imec-Technologie ebnet Diraqs Quantenchips den Weg

Silizium-Qubits, die mit fortschrittlichen industriellen Fertigungsmethoden hergestellt werden, erfüllen die wichtigsten Leistungskriterien und sind bereit für die Massenproduktion.

Industriell hergestellte Silizium-Quantenpunkt-Qubits können durchgängig Fehlerraten aufweisen, die die für die Quantenfehlerkorrektur erforderlichen Werte übertreffen. Wie die Ergebnisse von Imec und Diraq zeigen, lassen sich die Qubits von Diraq mit den Werkzeugen aus der Silizium-Mikrochip-Produktion zuverlässig herstellen. Dies demonstriert somit das Potenzial der industriellen Fertigungsverfahren von Imec für die Entwicklung großer siliziumbasierter Quantencomputer.

Nach fast einem Jahrzehnt sorgfältiger Optimierung und Entwicklung der Spin-Qubit-Fertigung am Imec haben die von Diraq entwickelten Geräte gezeigt, dass sie bei Operationen mit zwei Quantenbits durchgehend eine Fidelität von über 99 % erreichen. Diese Leistung, die durch die fortschrittliche Spin-Qubit-Technologieplattform von Imec ermöglicht wurde, ist ein entscheidender Schritt auf dem Weg von Diraq zum Utility-Scale – dem Punkt, an dem der Wert eines Quantencomputers seine Kosten übersteigt.

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Laura Lehmann • 9/2025 • Seite 21

Quanten-Dynastie

Andrew Dzurak, CEO und Gründer von Diraq, sagte: „Das Erreichen der Utility-Scale im Quanten­computing hängt davon ab, ob es gelingt, einen kommer­ziell trag­fähigen Weg zu finden, High-Fidelity-Qubits in großem Maßstab herzu­stellen. Die Zusammen­arbeit von Diraq und Imec macht deutlich, dass silizium­basierte Quanten­computer unter Nutzung der ausgereiften Halb­leiter­industrie gebaut werden können, was einen kosten­effi­zienten Weg zu Chips mit Millionen von Qubits bei gleich­zeitiger Maximie­rung der Fidelität eröffnet.“

Die Wiedergabetreue einer Quanten­operation gibt an, wie nahe die tatsächliche Operation an ihrer idealen Version liegt, und ist eine wichtige Kennzahl für das Ermöglichen großer Quanten­computer. Im Ideal­fall muss die Fidelität bei allen Operationen (weit) über 99 % liegen. Nur dann sind Fehler so selten, dass Quanten­fehler­korrektur­methoden erfolg­reich arbeiten können. In dieser Arbeit wurden die Fidelitäten für eine Reihe von Silizium-Quanten­punkt-Spin-Qubit-Opera­tionen über mehrere Geräte hinweg reproduzierbar gemessen: Vorbereitung des Zustands und Messung der Qubits (SPAM) sowie Ein- und Zwei-Qubit-Gate-Operationen, die an den Qubits durchge­führt wurden, um ihren Zustand zu kontrol­lieren und sie zu verschränken – die elementaren Operationen, die für einen Quanten­computer im großen Maßstab erforderlich sind. Für SPAM-Operationen wurden Zuverlässig­keiten von über 99,9 % erreicht, und für Ein- und Zwei-Qubit-Gate-Opera­tionen wurden systematisch Zuverlässig­keiten von über 99 % gezeigt, so dass die Quanten­fehler­korrektur von indus­triell herge­stellten Quantenpunkt-Qubit-Bauelementen nun eine realistische Perspektive darstellt.

Normalerweise werden Quanten­bau­elemente, die in universitären Reinräumen hergestellt werden, aufgrund ihrer Qualität für die Messung ausgewählt, ein Verfahren, das „Hero“-Bauelemente hervorbringt und die Reproduzier­barkeit der Ergebnisse ver­schleiert. In der Studie maß Diraq zufällig ausgewählte Bau­elemente und erhielt reprodu­zierbare Daten über Sätze von Zwei-Qubit-Bau­elementen, die jeweils aus einer doppelten Quanten­punkt­struktur bestanden. Die Bau­elemente wurden mit der 300-mm-Spin-Qubit-Plattform für Silizium-Quanten­punkt­strukturen von Imec hergestellt, die für geringes elektrisches Rauschen und hohe Gleichförmigkeit optimiert ist. Um auch das magnetische Rauschen von Rest­kernspins im Substrat zu unterdrücken, wurden die Quanten­punkt­strukturen auf einer isotopisch angerei­cherten Si-28-Schicht hergestellt.

Kristiaan De Greve, Fellow und Programmdirektor für Quantencomputer am Imec: „Zum ersten Mal sind Silizium-MOS-basierte Quantenpunkt-Spin-Qubit-Bauelemente, die mit industriellen Fertigungs­techniken herge­stellt wurden, genauso leistungs­fähig wie Hero-Bau­elemente aus dem Labor. Dies zeigt, dass der 300-mm-Prozess von Imec für MOS-basierte Quantenpunkt-Strukturen eine rauscharme Qubit-Umgebung ermöglicht, was zu hoher Wiedergabetreue für eine Reihe von kritischen Qubit-Operationen führt. Die ange­wandten Methoden und die daraus gewon­nenen Erkennt­nisse zeigen uns auch, dass es noch Potenzial für eine weitere Verbes­serung der Zuverlässigkeit gibt, da wir eine höhere Wiedergabe­treue durch eine weitere Isotopen­anrei­cherung der Silizium-Kanal-Schicht mit Si-28 erreichen können.“ [Diraq / imec / dre]

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