09.06.2022 • Halbleiter

Neues Zentrum der Halbleiter-Forschung in Dresden eröffnet

Fraunhofer-Institute bündeln Kompetenzen in der 300mm-Mikroelektronik.

In Dresden entsteht ein Leuchtturm der Halbleiter­forschung mit inter­nationaler Reichweite: Mit der Etablierung des „Centers for Advanced CMOS & Hetero­inte­gration Saxony“ bündeln das Fraunhofer-IPMS und das Fraunhofer-IZM-ASSID ihre Kompetenzen. Sie bieten künftig die komplette Wert­schöpfungs­kette in der 300mm-Mikro­elektronik und damit die Voraus­setzung für Hightech-Forschung für Zukunfts­technologien.

Abb.: Symbo­lische Wafer­über­gabe zur feier­lichen Er­öff­nung des...
Abb.: Symbo­lische Wafer­über­gabe zur feier­lichen Er­öff­nung des „Center for Advanced CMOS & Hetero­inte­gra­tion Saxony“ in Dresden. (Bild: C. Schneider-Broecker, Fh.-IZM)

Mit der Gründung des neuen Zentrums der Halbleiter-Forschung entstehen hervor­ragende Perspektiven, Halbleiter-Unternehmen und System­anwender sowie Material- und Anlagen­hersteller weltweit anzuziehen. Für Industrie- und Forschungs­aufträge sind neben hervor­ragendem Personal und Know-how eine Ausstattung mit einem modernen Geräte- und Anlagenpark entscheidend. Das „Center for Advanced CMOS & Hetero­integration Saxony“ wurde am 7. Juni feierlich eröffnet.

Es entsteht am Standort des Fraunhofer-IPMS in einem neuen, vier­tausend Quadratmeter großen Reinraum. Für die zukünftige Weiter­ent­wicklung der notwendigen Kompetenzen in der Mikro­elektronik und Mikro­system­technik werden die R&D-Angebote des Fraunhofer-IZM-ASSID und Fraunhofer-IPMS hinsichtlich der 300mm-Prozess­kompetenzen so gestaltet und ausgebaut, dass die lokale und nationale Industrie von KMUs bis zu Groß­unter­nehmen von den modernsten Technologien bestmöglich profitieren kann.

Die Integrations­plattform wird darüber hinaus auch in kunden­spezi­fischen Projekten im Rahmen des Leistungs­zentrums „Funktions­integration für die Mikro-/Nano­elektronik" und in der Forschungs­fabrik Mikro­elektronik Deutschland genutzt.

„Das neue Center for Advanced CMOS & Hetero­integration Saxony ist ein exzel­lentes Beispiel für eine proaktive Gestaltung der europäischen Entwicklung von Halb­leiter­techno­logien und leistet einen wichtigen Beitrag zur Sicherung unserer techno­logischen Souveränität“, erläutert Reimund Neugebauer, Präsident der Fraunhofer-Gesell­schaft.

„Durch die Zusammen­führung der exzel­lenten wissen­schaftlich-technischen Kompetenzen bildet das Zentrum zukünftig die gesamte Wert­schöpfungs­kette der Halbleiter-Technologien effizient ab – von der Forschung über die Pilot­fertigung auf dreihundert Millimeter großen Silizium­scheiben bis hin zur Kontaktierung und zur Endmontage.“

FG / RK

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