Rückgrat der deutschen Halbleiterforschung feiert Jubiläum

Das Center Nanoelectronic Technologies (CNT) hat sich seit seiner Gründung 2005 zu einer tragenden Säule der angewandten Halbleiterforschung in Deutschland und Europa entwickelt. Mit seinem einzigartigen Forschungsreinraum und der Ausstattung im 300-mm-Wafer-Industriestandard ist das CNT bundesweit einmalig und ein zentraler Innovationsmotor für die Mikroelektronikbranche.

Das Jubiläum feiert das Fraunhofer IPMS im August mit einem Festakt. Sachsens Ministerpräsident Michael Kretschmer würdigt die Bedeutung des CNT: „Das CNT leistet mit seiner exzellenten Arbeit einen entscheidenden Beitrag für die internationale Wettbewerbsfähigkeit des Silicon Saxony als führendem Mikroelektronikstandort in Deutschland und Europa. Gerade die aktuelle Lage zeigt, wie wichtig technologische Souveränität und unabhängige Lieferketten in Europa sind. Unser gemeinsames Ziel muss es sein Deutschland und Europa technologisch an der Spitze zu halten. Dabei wird das CNT auch in den kommenden Jahren eine zentrale Rolle einnehmen: mit klugen Köpfen, mutigen Ideen und starken Partnern an seiner Seite.“

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Guter Draht zur Nanoelektronik

Manfred Horstmann, General Manager und Senior Vice President bei Global­Foundries Dresden, dem größten Industrie­partner des CNT, erklärt: „Das CNT ist für uns ein strategischer Forschungs­partner. Die Nähe zu einem 300-mm-Forschungs­reinraum im Industrie­standard ermöglicht schnelle Innovations­zyklen und gezielte Technologie­entwicklung – ein echter Standort­vorteil für den gesamten Mikro­elektronik-Cluster Dresden.“

Die Erfolgsgeschichte des CNT begann 2005 als Public-Private-Partner­ship zwischen Fraun­hofer, Infineon und AMD. Infineon betrieb – damals noch unter dem Dach des Mutter­konzerns Siemens – das weltweit erste 300-mm-Werk am Stand­ort Dresden und war damit Vorreiter in der weltweiten Halb­leiter­produktion. Das CNT arbeitete exklusiv für die beiden Industrie­partner und ermöglichte von Beginn an eine direkte Verbindung von Spitzen­forschung mit indus­trieller Anwendung und damit schnelle Inno­vationen in der Produktion.

In der Folge der Finanz­krise 2009 verlor das CNT einen seiner beiden Industrie­partner. Damit endet auch die exklusive Forschung in der Public-Private-Partner­ship. Das CNT öffnete sich für Forschungs­koopera­tionen mit neuen nationalen und interna­tionalen Kunden nach dem Fraunhofer-Modell. 2013 wurde das CNT als Geschäftsfeld dann in das Fraun­hofer IPMS integriert. Heute bearbeitet das CNT Projekte mit über einhundert Industrie­partnern, darunter BASF, Sony, X-FAB und Global­Foundries. Und mit dem Projekt EMMA, in dem das CNT gemeinsam mit Global­Foundries innovative Materi­alien, Prozesse und Bau­elemente für die Energie­spar­techno­logie FDX entwickelte, konnte das CNT den größten Industrie­auftrag in der Geschichte der Fraunhofer-Gesell­schaft akquirieren.

Mit Investitionen von rund 140 Mio. Euro in modernste Anlagen ist das CNT heute Deutschlands wichtigste 300-mm-Forschungseinrichtung im industriellen Maßstab. Zusammen mit dem Fraunhofer IZM-ASSID, dessen Fokus auf Packaging- und Systemintegrations-Technologien liegt, decken die Institute die komplette Wertschöpfungskette in der 300-mm-Mikroelektronik ab und schaffen damit die Voraussetzung für Hightech-Forschung für Zukunftstechnologien im Land Sachsen.

Ein entscheidender Meilenstein der letzten Jahre war der erfolgreiche Umzug des CNT vom Standort Infineon in die ehemalige Fab von Plastic Logic. Dank der Unterstützung des Freistaats Sachsen, des BMFTR und der Fraunhofer-Gesellschaft konnte ein neuer, leistungsfähiger Standort mit dem größten Forschungsreinraum Deutschlands geschaffen werden.

Die neuen Kapazitäten ermöglichen neben klassischer Halbleiterforschung auch völlig neue Themenfelder: Das CNT engagiert sich heute aktiv in zukunftsweisenden Bereichen wie Quantencomputing, Neuromorphic Computing und AI-Hardware. Außerdem bietet der neue Standort Entwicklungsmöglichkeiten für zukunftsweisende Technologien wie die Chiplet-Integration in 2.5D- und 3D, was das CNT innerhalb der APECS-Pilotlinie erforscht.

Als Teil der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) und des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik arbeitet das CNT eng mit sächsischen und europäischen Partnern zusammen. Mit imec (Leuven) und CEA-LETI (Grenoble) besteht eine enge Partnerschaft zur Bündelung europäischer Forschungskompetenzen. Projekte wie “PREVAIL” zur Schaffung einer europäischen „Testing and Experimentation Facility (TEF) for Edge AI“ sind Ausdruck dieser grenzüberschreitenden Zusammenarbeit. [Fh.-IPMS / dre]